工业用臭氧发生器多采用电晕阻挡放电方式，类似于打雷时高压电离空气中的氧气形成臭氧，因此，臭氧发生器的使用过程是离不开空气或氧气来作为气源的，气源所含氧气浓度的差异会对臭氧发生器的出气臭氧浓度、产量等指标产生极大的影响。通常，臭氧发生器的气源系统分为三类：空气源、现场制氧、纯氧源。三种气源介绍如下：

首先是空气源：众所周知，空气中氧气含量约为21%，其余多为氮气；空气源臭氧发生器的气源系统由空气压缩机、精密过滤器、冷冻式干燥机、吸附式干燥机构成。由于气源系统只对空气进行除油、出水、除尘等步骤，因此经过气源系统处理后的氧气浓度与空气无异。空气源臭氧发生器（系统）臭氧浓度约为15-30mg/L，每产生1公斤的臭氧（以汇威环保臭氧发生器为例），整套系统耗电约为22KW。

现场制氧：现场制氧是在压缩空气后添加制氧机方式，其整体系统如下：空气压缩机、精密过滤器、冷冻式干燥机、吸附式干燥机、制氧机；工业制氧机处理后的氧气浓度约为90%-93%，大大提高了气源氧气浓度，采用现场制氧供气后臭氧发生器的出气浓度约为100-120mg/l，每产生1公斤的臭氧，臭氧发生器.耗电约为8-9度，整套系统耗电约为17KW。

纯氧源：所谓纯氧源通常是指采用臭氧发生器的进气直接接入氧气罐，工业液氧罐氧气纯度99%以上，且氧气的露点、碳氢物、粉尘、含油量等指标是完全符合臭氧发生器对气源的要求的，纯氧源臭氧发生器出气浓度可高达150mg/l，产生1公斤的臭氧耗电量约为7-8度（以汇威环保臭氧发生器为例）。

比较以上三种气源方式，以空气作为气源，臭氧发生器出气浓度低、耗能大，臭氧发生器体积、功率较大，但是出气量大，整套系统比现场制氧简单，在一些对臭氧浓度不高的污水处理及废气处理领域是比较适合的。现场制氧作为气源时，臭氧发生器浓度高，耗电量一般，运行成本比空气源低、臭氧发生器的功率小，但是气源系统复杂、功率大、出气量小，适用于各种污水处理、深度水处理、废气治理等，纯氧源即液氧源臭氧发生器浓度最高、耗电量最低，但是需要建或租用氧气站，氧气罐由于是压力容器存在一定的安全隐患，需定时送气，需年检，使用起来比较麻烦，中小产量臭氧发生器不太适用，通常只能用作大型臭氧发生系统或对臭氧浓度有极高要求的领域。